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【直線(xiàn)模組應(yīng)用】搬送行業(yè)之晶圓碼裝置案例

發(fā)布日期:2019-07-17 17:33


 
直線(xiàn)模組應(yīng)用】搬送行業(yè)之晶圓碼裝置案例:對(duì)清洗后的晶圓定位,然后將其收納在托盤(pán)內(nèi)的裝置,由于對(duì)潔凈度有很高的要求,因此使用了深圳美蓓亞斯科技生產(chǎn)的全封閉MY直線(xiàn)模組滑臺(tái)。

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